李院士向走廊上看了一眼，然后关上房门，不等坐下，他就迫不及待地说道：
“现在没外人了，小牧同志，赶紧说一说你的解决方案！”
“其实吧，对于这个解决方案，我也是听别人说的。”
徐端逸比他更急。
他主持研制的分步投影光刻机之所以下马，主要是因为受到国外同行的打压，不能产生市场效应和经济利益，没有资金维持下去。
但还有一个原因，却是行业外的人不知道的。
那就是光刻机光源陷入了193纳米的技术问题上，无法取得根本性的突破。
所以，在牧乔说出利用光的折射原理来解决光源波长问题时，徐端逸犹如“一语惊醒梦中人”，心中顿时豁然开朗，巴不得马上就开始研究工作。
同时，他也对牧乔所说的第二个解决方案充满了好奇。
齐远思一宣布散会，他就迫不及待地跑来找牧乔来了。
牧乔笑了笑，在两人急切的目光中，继续说道：
“我的第一个解决方案，是利用了光在液体中的折射原理，对于光源本身没有做出任何改变。”
“而另一个解决方案，就是改进光源！”
“用什么来替代现有光源？”徐端逸迫切地问道。
他是光学微加工技术方面的专家，自然知道光刻机改进光源的重要性，但用什么来替代目前的光源，他现在心里却还一点数都没有。
牧乔并没有直接回答他的话，反而问道：
“徐教授，你们研制出来的分步投影光刻机，用的是什么光源？”
“我们用的是高压汞灯，经过滤光后使用其中的i线，波长最短能达到365纳米。”
牧乔沉声道：
“光刻机的每一次进步，其实就是光源的改进，据我所知，目前国际上的光刻机已经发展到了第四代。”
牧乔竟然还能清晰地记得，上辈子无意间看过的一篇关于光刻机发展的科普资料。
虽然他一直记忆力都非常好，但好到这种程度，却还是让他感到有些意外。
难道这就是他重生带来的金手指？
心里这样想着，他嘴里却没有停下来：
“第四代光刻机采用波长193纳米的arf准分子激光作为光源，将最小工艺节点提升到了65纳米的水平，在光刻工艺上也采用了扫描投影式光刻，以扫描的方式在硅片上实现曝光。”
徐端逸团队研制出来的分步投影式光刻机，虽然号称接近国际先进水平，但实际上还有着不小的差距。
拿光源来说就差了两代。
这点他们很有自知之明。
但知道也没办法，没那个技术，只能“望机兴叹”。
其实，早在70年代，米国就研制出了准分子激光器，并在80年代将它用于钻石加工和半导体光刻工艺中。
1986年，贝尔实验室首次将准分子激光应用到分步投影光刻机和医学上。
但国内的光源研究却还停留在高压汞灯的阶段。
“如果能将准分子激光和浸入式工艺相结合，波长将会缩短到134纳米，最高可实现6纳米制程节点。”
牧乔所说的浸入工艺，就是将镜头和硅片之间的空间浸泡于纯净水之中，由于纯净水的折射率为1.44，所以arf加浸入技术就能得到134纳米的波长。
这是后世已经实现的技术，但李坚强和徐端逸二人却认为这只是牧乔想象之中的最好结果。
不过，只是想一想，都让他们格外兴奋。
但兴奋过后，接踵而来的就是沮丧。
“我们连准分子激光器都造不出来……”
这一点，牧乔当然也是考虑过的。
“造不出就买，买过来拆开来研究，我就不相信有实物，咱们都仿造不出来！”
李坚强叹了口气：“关键是人家不卖给我们。”
“买不到光刻机，可以买钻石加工机和医疗器械，到时将它们上面的准分子激将器拆下来不就行了？”
“好主意！”两人的眼睛顿时一亮，随即，李坚强就握住了牧乔的手。
“小牧同志，这件事情就拜托你了！”
“放心！我在香江开了一家进出口贸易公司，到时让他们出面去购买。”
“只要出得起价钱，钻石加工机也好，医疗器械也好，统统都不是问题。”
“那就好！那就好！”
李坚强满怀憧憬地说道：“只要能买到激光器，我们就一定能够仿造出来。”
“这一次，是我们超越国外先进技术的最佳时机，万万不能再耽误了！”
徐端逸叹道：“是啊，错过了这一次，还不知道要多少时间才能追赶得上来。”
李坚强激动地道：
“回头我就和齐校长一起去教委，争取最快的时间把合作计划批下来，小牧同志，你那边也要抓紧点了！”
“我马上就安排！”
说好准分子光源的事，牧乔又将话题转回到光刻机以后的研究方向上来。
“目前国际光刻机常用的光源，大致可以分为两类，一是紫外光，二是深紫外光（准分子激光产生的也是深紫外光）。”
“但还有一种极紫外光，它能将波长缩短到10-15纳米！”
徐端逸一听就摇头道：“极紫外光我知道，但要拿它来做光刻机光源，我觉得根本无法实现。”
“不说如何产生适用的光线，就是它的稳定性和转换效率等等，都是无法解决的难题！”
“所以我将它定为一个长期投入、长期研究的目标。”牧乔郑重地说道。
极紫外光刻机被称为人类工业文明皇冠上的明珠。
上一世，光刻机巨头asml公司花了10多年时间，投入大量的人力物力，才在2010年推出第一台euv光刻机，并从此垄断了全球高端光刻机市场。
这一世，有机会取而代之，哪怕困难再大，牧乔也不打算放弃。安慕小说网
“光靠我们水木，恐怕担不起这个担子！”
牧乔用力地挥了挥手，“一口吃不出一个胖子，咱们一步一步来！”
“我们现在的目标，就是造出193纳米的准分子激光器。”
晶晶走到唐三身边，就在他身旁盘膝坐下，向他轻轻的点了点头。
唐三双眼微眯，身体缓缓飘浮而起，在天堂花的花心之上站起身来。他深吸口气，全身的气息随之鼓荡起来。体内的九大血脉经过刚才这段时间的交融，已经彻底处于平衡状态。自身开始飞速的升华。
额头上，黄金三叉戟的光纹重新浮现出来，在这一刻，唐三的气息开始蜕变。他的神识与黄金三叉戟的烙印相互融合，感应着黄金三叉戟的气息，双眸开始变得越发明亮起来。
阵阵犹如梵唱一般的海浪波动声在他身边响起，强烈的光芒开始迅速的升腾，巨大的金色光影映衬在他背后。唐三瞬间目光如电，向空中凝望。
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顿时，”轰”的一声巨响从天堂花上爆发而出，巨大的金色光柱冲天而起，直冲云霄。
不远处的天狐大妖皇只觉得一股惊天意志爆发，整个地狱花园都剧烈的颤抖起来，花朵开始迅速的枯萎，所有的气运，似乎都在朝着那道金色的光柱凝聚而去。
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他脸色大变的同时也是不敢怠慢，摇身一晃，已经现出原形，化为一只身长超过百米的九尾天狐，每一根护卫更是都有着超过三百米的长度，九尾横空，遮天蔽日。散发出大量的气运注入地狱花园之中，稳定着位面。
地狱花园绝不能破碎，否则的话，对于天狐族来说就是毁灭性的灾难。
祖庭，天狐圣山。
原本已经收敛的金光骤然再次强烈起来，不仅如此，天狐圣山本体还散发出白色的光芒，但那白光却像是向内塌陷似的，朝着内部涌入。
一道金色光柱毫无预兆的冲天而起，瞬间冲向高空。
刚刚再次抵挡过一次雷劫的皇者们几乎是下意识的全都散开。而下一瞬，那金色光柱就已经冲入了劫云之中。
漆黑如墨的劫云瞬间被点亮，化为了暗金色的云朵，所有的紫色在这一刻竟是全部烟消云散，取而代之的，是一道道巨大的金色雷霆。那仿佛充斥着整个位面怒火。
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第0318章 一口吃不成胖子免费阅读.https://www.xfanjia.com
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